Kategorija tal-prodott
Kuntatt magħna

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Indirizz:

Impjant Nru.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712,000, iċ-Ċina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Servizz hotline
029 3358 2330

L-aħbarijiet

Id-dar > L-aħbarijietIl-kontenut

X'inhuma r-rekwi iti ta 'prestazzjoni ewlenin g all-miri sputtering silikon?

sputtering silikon purità mira

purità huwa wie ed mill-indikaturi tal-prestazzjoni ewlenin ta 'miri sputtering silikon min abba li l-PUR ity tal-mira sputtering g andu effett kbir fuq il-proprjetajiet tal-film. Madankollu, fl-applikazzjonijiet pratti i, ir-rekwi iti ta 'purità g al miri sputtering silikon mhumiex l-istess. Per e empju, bl-i vilupp mg a el ta 'l-industrija mikroelettronika, id-daqs wafer minn 6 & quot ;, 8 & quot; sa 12 & quot ;, u l-wisa wajers minn 0.5um jitnaqqas g al 0.25um, 0.18um jew sa ansitra 0.13um, qabel 99.995% tal-silikon sputtering Il-purità tal-mira jistg u jil qu l- ti iet ta 'pro ess 0.35umIC, u li j ejju l 0.18 um linja fuq l-purità ta 'mira sputtering silikon te tie 99.999% jew sa ansitra 99.9999%.

Silicon mira sputtering kontenut impurità

silika sputtering l-impuritajiet fil-solidi mira u l-ossi nu u umdità fil -pori huma s-sors ewlieni ta 'kontaminazzjoni g all-film depo itati. Ir-rekwi iti g all-kontenut ta 'impurità differenti ta' miri sputtering silikon g al skopijiet differenti huma wkoll differenti. Per e empju, l-industrija tas-semikondutturi g all-aluminju pur u l-mira sputtering liga ta 'aluminju, il-kontenut alkali u oligoelement radjuattiv g andu l- ti ijiet spe jali.

Silicon sputtering densità mira

Sabiex jitnaqqas il-porosità tas-solidi mira sputtering silikon u tittejjeb il-prestazzjoni tal-film atomizzati, eneralment huwa mixtieq li l-siliku mira sputtering li jkollhom densità og la. Id-densità tal-mira sputtering taffettwa mhux biss ir-rata sputtering, i da jaffettwa wkoll l-proprjetajiet elettri i u otti i tal-film. L-og la densità tal-mira sputtering silikon, l-a jar il-prestazzjoni tal-film. Barra minn hekk, ti died id-densità u qawwa tal-mira sputtering silikon tippermetti l-mira sputtering silikon li jifil u a jar l-istress termali matul sputtering. Densità huwa wkoll wie ed mill-indikaturi ta 'prestazzjoni ewlenin tas-miri sputtering silikon.

Silicon sputtering daqs Qam mira u qam distribuzzjoni tad-daqs

Normalment il-mira sputtering huwa struttura polikristallini ma daqs tal-frak fl-ordni ta mikroni g all millimetri. G all-istess tip ta 'mira tas-silikon sputtering, ir-rata sputtering tal-mira multa sputtering silikon hu aktar mg a el minn dak tal-mira silikon sputtering o xon. Ir-rata sputtering huwa g ir (distribuzzjoni uniformi) Id-distribuzzjoni xuna tal-film depo itata hija aktar uniformi.