Kategorija tal-prodott
Kuntatt magħna

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Indirizz:

Impjant Nru.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712,000, iċ-Ċina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Servizz hotline
029 3358 2330

L-aħbarijiet

Id-dar > L-aħbarijietIl-kontenut

oni applikazzjoni oxide sputtering mira

huwa mag ruf sew li l-tendenza g all-i vilupp ta 'ossidu sputtering materjali mira hija relatata mill-qrib mal-tendenza g all-i vilupp tat-teknolo ija film irqiq fl-industrija applikazzjoni downstream. Bl-titjib tat-teknolo ija applikazzjoni fi prodotti film irqiq jew komponenti, it-teknolo ija tal-mira sputtering ossidu g andu wkoll bidla Il B al manifatturi IC. Ri entement, l-i vilupp ta 'wajers tar-ram-re istenza baxxa huwa mistenni li jie u post il-film aluminju ori inali fil-ftit snin li ejjin, b'tali mod li l-i vilupp ta' mira sputtering ossidu u l-mira tag ha barriera me tie a se jkunu ur enti. Barra minn hekk, fl-a ar snin, wiri fuq panew att (F P D) ji i mibdul b'mod sinifikanti it-tubu cathode ori inali ray (CRT) moniters tal-kompjuters -bba ati u s-suq tat-TV. Se id b'mod sinifikattiv ITO mira teknolo ija u d-domanda tas-suq. Minbarra l-teknolo ija ta ' a na. High-densità, drives ta 'kapa ità g olja hard, ta' densità g olja diski rewritable ikomplu ji diedu. Dawn wasslu g al bidliet fid-domanda g all-industrija fil-mira. Hawn ta t ser nintrodu u l-oqsma ta 'applikazzjoni ewlenin tal-mira, kif ukoll l-tendenza g all-i vilupp ta' dawn il-miri.

Ossidu mira sputtering qasam Microelectronics

Fl-industriji kollha ta 'applikazzjoni, l-industrija tas-semikondutturi fuq -rekwi iti mira ta 'kwalità film sputtering huma l-aktar impenjattivi. Issa 12-il pulzier (3 0 0 barra tal- alq) ta - ippa tas-silikon ikun ie manifatturat. Filwaqt li l-wisa 'tal-interkonnessjoni qieg da tonqos & nbsp;.

Ossidu sputtering mira Ir-rekwi iti tal-manifattur wejfer g all-mira huma daqs kbir, purità g olja, is-segregazzjoni baxx u qam multa, li jirrikjedi li il-mira iffabbrikat sputtering ossidu g andu mikrostruttura a jar. Id-dijametru u l-uniformità tal-parti elli kristall tal-mira sputtering ossidu huma meqjusa b ala l-fatturi ewlenin li jaffettwaw il-rata ta 'depo izzjoni tal-film. Barra minn hekk, il-purità tal-film hija marbuta strettament mal-purità tal-mira sputtering ossidu. Il- (4 N5) mira 99.995% ram purità jistg u jissodisfaw il- ti ijiet tal-manifattur tas-semikondutturi & # 39; pro ess 12:35 i, i da ma jistax jissodisfa r-Rekwi iti attwali pro ess 0.25um, i da mhux il-0.18um arti ross anki 0.13m pro ess, il-purezza mira me tie a se jkunu me tie a biex jil qu 5 jew sa ansitra 6N jew aktar. Ram meta mqabbla ma 'l-aluminju, ram g andha re istenza og la biex electromigration u re istività aktar baxxi, li jissodisfaw! teknolo ija konduttur fil-wiring sub-micron tal 0.25um ta t il- tie a imma bir-ross problemi o ra: ram u l-midja organi i, il-qawwa ade joni huwa baxx. U suxxettibbli g all-reazzjoni, li jirri ulta fl-u u tal-pro ess ta 'interkonnessjoni tar-ram tal- ippa kienet irkwit imkisser u miftu . Sabiex ji u solvuti dawn il-problemi, huwa me tie li ji i pprovdut barriera bejn il ram u s-saff dielettriku. Il-materjal strat ta 'barriera eneralment ju a punt tad-dewbien g olja, metall re istenza g olja u kompost tag ha, sabiex il- xuna strat ta' barriera tkun inqas minn 50nm, bir-ram u dielettriku ade joni materjal hija tajba. interkonnessjoni tar-ram u l-interkonnessjoni aluminju tal-materjal barriera huma differenti. tie a li ji u viluppati materjali mira odda. interkonnessjoni tar-ram tal-strat ta 'barriera mal-mira sputtering ossidu jinkludu Ta, W, Tasi, WSI u l-bqija. I da Ta, W huma metall refrattorji. Produzzjoni hija relattivament diffi li, u issa qed tistudja molibdenu, kromju u deheb o ra b ala materjal sostitut.