Kategorija tal-prodott
Kuntatt magħna

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Indirizz:

Impjant Nru.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712,000, iċ-Ċina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Servizz hotline
029 3358 2330

L-aħbarijiet

Id-dar > L-aħbarijietIl-kontenut

L - Applikazzjoni tal - Mira ta 'l - Isprejjar tan - Ni - Pt Liga fil - Manifattura tas - Semikondutturi

Bħalissa, il-metodu ewlieni biex tipprepara l-film tas-silikid tan-nikil-platinum huwa li l-ewwel jiffurmaw saff ta 'impjantazzjoni ta' joni fir-reġjun tas-silikon tas-substrat semikonduttur, u mbagħad ipprepara saff ta 'saff epitassjali tas-silikon fuqha, segwit b'tibdiliet fuq il- Saff epitassjali tas-silikon b'metodu ta 'manjeżju. Saff ta' film NiPt, u finalment permezz tal-proċess ta 'ittemprar biex jiffurma film tas-siliċidju tan-nikil platinum.

Silikat tan-Nikil Platinum Films f'applikazzjonijiet ta 'Manifattura ta' Semikondutturi:

1. Applikazzjoni fil-Manifattura tad-Dijowds ta 'Schottky: Target ta' lqugħ ta 'liga L-applikazzjoni tipika ta' films tas-silikid tan-nikil-platinum f'tagħmir semikunduttur hija d-dijodi ta 'Schottky. Bl-iżvilupp tat-teknoloġija tad-dijodu Schottky, il-kuntatt tas-silikid tal-metall tas-silikon issostitwixxa l-kuntatt metalliku tradizzjonali tas-silikon biex jiġu evitati difetti fil-wiċċ u kontaminazzjoni, jitnaqqas l- impatt ta 'enerġija b'lura, temperatura għolja, anti-statika, kontra l-ħruq. Is-siliċidju tan-nikil-platinum huwa l-materjal ideali għall-kuntatt tal-barriera ta 'Schottky, minn naħa waħda liga tan-nikil-platinum bħala metall barriera, b'stabbiltà tajba ta' temperatura għolja; naħa l-oħra, Alloy Sputtering Target permezz tal-bidliet fil-proporzjon tal-liga tal-kompożizzjoni biex jinkiseb l-aġġustament tal-għoli tal-barriera. Il-metodu huwa ppreparat bix-xibka tas-sodju tan-nikil-platinu fuq is-sustrat tas-semikondutturi tas-silikon tat-tip N b'metron sputtering, u l-ittemprar fil-vakwu jitwettaq f'medda ta '460 ~ 480 ℃ għal 30 minuta biex jifforma s-saff tal-barriera NiPtSi-Si. Normalment jeħtieġu li jisplodu n-NiV, TiW u barriera ta 'diffużjoni oħra, jimblukkaw l-interdiffużjoni inter-metallika, itejbu l-prestazzjoni kontra l-għeja tat-tagħmir.

2. Applikazzjonijiet f'ċirkuwiti integrati ta 'semikondutturi: Is-siliċidi tan-nikil-platinum huma użati b'mod wiesa' fil-mezzi mikro-elettroniċi tal-VLSI fis-sors, drain, gate u kuntatt tal-elettrodu tal-metall. Bħalissa, Ni-5% Pt (frazzjoni mole) ġiet applikata b'suċċess għal 65nm tat-teknoloġija, Ni-10% Pt (frazzjoni mole) applikata għal teknoloġija 45nm. Bit-tnaqqis ulterjuri tal-wajer tal-linja tat-tagħmir tas-semikondutturi, huwa possibbli li jittejjeb aktar il-kontenut ta 'Pt fil-liga tan-nikil-platinum biex tħejji l-film ta' kuntatt NiPtSi. Target ta 'lqugħ ta' l-illigi Ir-raġuni ewlenija hija li ż-żieda tal-kontenut ta 'Pt fil-liga tista' ttejjeb l-istabilità tat-temperatura għolja tal-film u ttejjeb l-apparenza tal-interface, tnaqqas l-invażjoni tad-difetti. Il-ħxuna tas-saff tal-film ta 'liga tan-nikil u platinu fuq il-wiċċ tat-tagħmir tas-silikon korrispondenti ġeneralment hija biss madwar 10 nm, u l-metodu użat biex jifforma s-silikid tan-nikil-platinum huwa pass wieħed jew aktar. It-temperatura hija fil-medda ta '400 sa 600 ° C għal 30 sa 60 s

F'dawn l-aħħar snin, ir-riċerkaturi sabiex inaqqsu r-reżistenza ġenerali tas-silikid tan-nikil-platinum, il-manifattura b'żewġ fażijiet patentata ta 'IBM b'linja rqiqa NiPtSi: l-ewwel pass tad-depożizzjoni ta' kontenut għoli ta 'Pt ta' depożizzjoni ta 'film ta' liga ta 'nikil-platinum, Alloy Sputtering Target id-depożizzjoni tat-tieni pass il-kontenut ta 'Pt Il-film tal-liga tan-nikil-platinu baxx lanqas ma fih Pt film tan-nikil pur. Il-formazzjoni ta 'film tas-silikid tan-nikil-platinum fuq il-wiċċ tal-kontenut baxx ta' Pt tgħin biex titnaqqas ir-reżistenza ġenerali tas-siliċidju tan-nikil-platinum, għalhekk fil-nodu teknoloġiku l-ġdid, huwa possibbli li jintuża kontenut Pt differenti ta 'liga ta' nickel-platinum sputtering Il-mira Il-film tal-kuntatt tas-siliċidju tan-nikil platinum bi struttura ta 'gradjent tħejja.