Kategorija tal-prodott
Kuntatt magħna

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Indirizz:

Impjant Nru.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712,000, iċ-Ċina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Servizz hotline
029 3358 2330

L-aħbarijiet

Id-dar > L-aħbarijietIl-kontenut

Analiżi tal-Arranġament Manjetiku tal-Qasam tal-Miri tal-Metall ta 'Magnetron Sputtering

Analiżi ta 'l-arranġament tal-kamp manjetiku tal-Miri ta' l-Isprejjar tal-Metall ta 'Magnetron

Fl-aħħar għexieren ta 'snin, il-mannun sputtering sar wieħed mill-aktar metodi importanti ta' kisi ta 'depożizzjoni. Użati ħafna fil-produzzjoni industrijali u r-riċerka xjentifika. Bħal fl-industrija moderna tal-makkinarju, l-użu tat-teknoloġija tal-mannun sputtering fil-wiċċ tal-biċċa tal-biċċa tax-xogħol tkun miksija b'film funzjonali, film superhard, film awto-lubrikanti. Fil-qasam tal-ottika, l-użu tat-teknoloġija mannun sputtering biex tipprepara film anti-riflettiva, film ta 'radjazzjoni baxxa u film trasparenti, film tal-insulazzjoni. Fil-qasam tal-mikroelettronika u t-teknoloġija tal-isparatura manjetika tal-kamp manjetiku ta 'reġistrazzjoni ottika wkoll għandu rwol importanti. Madankollu, it-teknoloġija ta 'mannun sputtering għandha wkoll in-nuqqasijiet tagħha stess, bħal użu baxx ta' mira, rata ta 'depożizzjoni baxxa u rata baxxa ta' jonizzazzjoni. Miri ta 'l-Isprejjar tal-Metall Ir-rata ta' utilizzazzjoni mmirata hija dovuta għall-eżistenza tar-runway fil-mira, sabiex il-limitazzjoni tal-plażma fiż-żona mmirata taż-żona lokali, li tirriżulta f'miri reġjonali tal-Metal Sputtering. Il-forma tar-runway hija determinata mill-istruttura tal-kamp manjetiku wara l-mira. Iċ-ċavetta biex tittejjeb l-utilizzazzjoni tal-mira hija li tiġi aġġustata l-istruttura tal-kamp manjetiku, sabiex il-plażma teżisti fil-medda tal-wiċċ immirat tal-mira, biex tikseb il-wiċċ uniformi. Għall-mannun sputtering, ir-rendiment tal-bix-xrar jista 'jiżdied billi tiżdied il-qawwa mmirata, iżda l-mira tista' tkun suġġetta għal tidwib u cracking minħabba tagħbija termali. Dawn il-problemi jistgħu jsiru fil-każ tal-istess żona ta 'mira

Iż-żona tal-bexx tal-wiċċ fil-mira tiżdied, u dan jirriżulta fi tnaqqis fid-densità tal-qawwa tal-wiċċ fil-mira. Allura d-disinn tal-kamp manjetiku tal-katodu tad-drapp manjetoniku kien titjib kontinwu. Liema huwa rappreżentattiv ta 'bħal: is-sors ta' spunġjar ta 'manjetone ċirkolari ċirkolari, permezz tad-disinn razzjonali tal-kamp manjetiku, sabiex il-formazzjoni tar-runway minn ġoċ-ċentru tal-wiċċ mira, Metal Sputtering jimmira l-użu ta' il-wiċċ fil-mira ta 'l-isputtering sħiħ; magnetron pjan rettangolari Sors ta 'l-isprejnjar, permezz tal-mekkaniżmu ta' trażmissjoni biex jikkombina l-kalamiti fid-dahar tal-mira biex isir moviment f'forma ta 'djamant jew forma ta' għanbaqar, sabiex ir-rata ġenerali ta 'utilizzazzjoni mmirata ta' 61%; permezz taċ-ċirkwit multi-manjetiku bl-aġġustament biex jinkiseb l-inċiżjoni sħiħa tal-wiċċ tal-mira ta 'pressjoni baxxa. L-istruttura tal-kamp manjetiku tista 'wkoll ittejjeb l-uniformità tal-ħxuna tal-film. Billi taġġusta s-saħħa tal-proporzjon tal-kamp manjetiku, u l-iżvilupp ta 'teknoloġija ta' mannun spreġġjar mhux ekwilibriju, iżda għandha wkoll il-funzjoni ta 'joni tal-joni. Allura d-disinn taċ-ċirkwit manjetiku huwa l-iktar parti importanti tas-sors ta 'mannun sputtering.

Arranġament tal-kamp manjetiku tal-Miri ta 'l-Isprejjar tal-Metall ta' Magnetron

F'millimetri ta 'manubri ċatti tal-metall, il-kalamita titqiegħed wara l-mira u l-kamp manjetiku li jgħaddi mill-wiċċ tal-mira jifforma kamp manjetiku fuq il-wiċċ tal-mira. Fejn il-kamp manjetiku B parallel mal-wiċċ tal-mira u l-kamp elettriku E tal-wiċċ immirat vertikali jiffurmaw kamp ta 'dawra E × B paralleli mal-wiċċ immirat. Il-kamp ta 'drift E x B għandu l-effett ta' elettroni fuq in-nases, Miri tal-Metal Sputtering b'hekk iżid id-densità elettronika tal-wiċċ immirat, u jżid il- probabbiltà ta 'kolliżjoni bejn l-elettroni u molekuli newtrali tal-gass u jżid ir- Il-gass Ir-rata ta 'l-ispusting.