Kategorija tal-prodott
Kuntatt magħna

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Indirizz:

Impjant Nru.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712,000, iċ-Ċina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Servizz hotline
029 3358 2330

Tat-teknoloġija

Id-dar > Tat-teknoloġijaIl-kontenut

Magnetrons pjana bil fl-PVD kisjiet


Magnetrons pjana bil fl-PVD kisjiet


L-Magnetron pjana bil huwa, essenzalment, mod klassiku "dajowd" sputtering katodu biż-żieda ta ' l-array kalamita permanenti wara l-katodu. Dan array kalamita huwa irranġati hekk illi l-passaġġ manjetiku huwa normali li l-qasam ta ' l-elettriku fil-mogħdija magħluqa u jifforma konfini "mina" li jingassa elettroni ħdejn il-wiċċ tal-mira. Dan insib elettron ttejjeb l-effiċjenza tal-formazzjoni tal-jone tal-gass u trażżan il-plażma, li jippermetti l-ogħla kurrent bi pressjoni tal-gass aktar baxxi u tikseb rata ogħla ta ' deposizzjoni tat-tbeżżiq għal kisi PVD (deposizzjoni ta ' fwar fiżiku).


Ġew użati bosta Magnetron Sputtering bil-katodu/mira forom differenti, imma l-aktar komuni huma ċirkolari u rettangolari. Magnetrons rettangolari aktar spiss jinstabu fi skala akbar fil-linja Magnetron Sputtering s-sistemi fejn substrati Skenja linearment l-miri fuq xi forma ta ' ċinturin jew trasportatur tal-passat. Ċirkulari Magnetrons aktar komunement jinstab fi skala iżgħar Confocal lott sistemi jew stazzjonijiet tal-wejfer waħda fl-għanqud għodod.


Għalkemm mudelli aktar kumplessi jista jsir, katodi ħafna mill - inklużi dawk ċirkolari u rettangolari virtwalment kollha - jkollhom disinn sempliċi kalamita konċentriku mal-iċ-ċentru qed Pol wieħed u l-perimetru l-oppost. Għall-Magnetron tonda, dan ikun a kalamita relattivament żgħir tond fiċ-Ċentru, u l-kalamita annulari ċirku tal-polarità opposta madwar barra mal-qasma bejn.


Għall-Magnetron rettangolari-ċentru wieħed huwa normalment strixxa isfel il-fus it-twil (imma anqas mit-tul sħiħ) mal-rettangolari "ħajt/stekkat" tal-polarità opposta-mixja madwar bit a gap fil-bejn. Il-qasma hija fejn il-plażma se jkun, ċurkett ċirkulari fil-Magnetron tonda jew tawwalija xi "korsa" fl-rettangolari. Innota li, fl-akbar katodi, speċjalment il-kalamiti jistgħu jkunu ħafna biċċiet individwali aktar milli biċċa waħda solida.


Kif il-materjal tal-kisi bil-katodu fil-mira huwa użat fl-PVD u materjal sputters barra, se tkun kapaċi biex tara dawn mudelli erożjoni karatteristiku fuq il-wiċċ tal-mira. Fil-fatt, fil-każ ta ' xi kalamita problemi bħal nieqsa, misaligned, jew taħt stabbiliti, l-erożjoni mogħdija se jkun anormali u dan jista ' jkun indikazzjoni tajba dijanjostiċi ta ' problemi bħal dawn fi ħdan tiegħek katodu Magnetron Sputtering.


L-orjentazzjoni ta ' l-arblu tal-kalamiti individwali għandhom ikunu tali li Pol wieħed hija ffurmata fiċ-Ċentru, u l-oppost pole fil-perimetru. Hemm a koppja ta ' modi biex tagħmel dan. Huwa l-aktar komuni biex tinstalla arbli tat-tramuntana/nofsinhar il-kalamiti perpendikulari mal-pjan tal-mira, Pol wieħed lejn il-mira u tarf l-ieħor - l-aħħar "ħielsa" / biswit il-pole - band bridged lill-kalamiti oħra mill-pjanċa arblu magħmula minn manjetiku (normalment materjal tal-ħadid).


Iċ-ċirkwit manjetiku komplet huwa b'hekk-Pol tat-tramuntana miftuħa tal-kalamita waħda (jew katina ta ' kalamiti individwali jekk mhux biċċa waħda) ma tiegħu biswit south pole gganċjat mill-materjal manjetiku għall-Pol tat-tramuntana ta ' l-ieħor, li south pole huwa mbagħad miftuħa. Dawn iż-żewġ band biswit il-wiċċ ta ' truf miftuħa lejn id-destinazzjoni u l-kamp manjetiku li jirriżulta arches fuq mill-wiċċ tal-mira li jiffurmaw l-elettron insib, plażma jikkonċentraw il-Mina.


Innota li l-PVD Magnetron jaħdem ma ' l-allinjament manjetiku jew - -iċ-Ċentru jista ' jkun it-tramuntana u l-perimetru jista jkun nofsinhar, jew viċe versa. Madankollu, fil-biċċa l-kbira sistemi pjana bil Magnetron Sputtering, hemm katodi multipli pjuttost qrib xulxin, u li ma tixtieqx maħruba tramuntana / oqsma tan-nofsinhar iffurmat bejn il-miri.


F'dawk l-oqsma manjetiċi Elelnika Magnetron għandhom ikunu biss fuq il-miri ta uċuħ, li jiffurmaw il-mini mixtieqa manjetiku hemm. Għal din ir-raġuni, huwa kompletament mixtieq u żgura l-katodi kollha f'sistema waħda huma allineati l-istess mod, jew tramuntana kollha fuq l-perimetri tagħhom, jew isfel kollha fuq l-perimetri tagħhom. U għal faċilitajiet b'sistemi tat-tbeżżiq multipli, bl-istess mod huwa mixtieq li jagħmluhom kollha l-istess hekk li katodi b'mod sigur jistgħu jiġu skambjati bejn is-sistemi mingħajr worrying dwar l-allinjament kalamita.


Hemm konsiderazzjonijiet addizzjonali u għażliet fir-rigward tal-kalamiti. Biċċa l-kbira fil-mira materjali huma mhux manjetiku u b'hekk ma jfixklux l-qawwa meħtieġa tal-kamp manjetiku. Imma jekk inti huma sputtering manjetiċi materjali bħal ħadid jew nijkil, ikollok bżonn jew ogħla qawwa kalamiti, jew irqaq miri, jew it-tnejn sabiex jiġi evitat li l-qasam tal-wiċċ manjetiku effettivament shorted barra mill-mira manjetiku materjal.


Lil hinn minn dak, id-dettalji tal-kalamita, bħal qawwa manjetika u d-dimensjonijiet tal-qasma, jistgħu jiġu ddisinjati biex itejbu l-utilizzazzjoni materjali mira, jew biex itejbu l-uniformità matul l-assi prinċipali ta ' mira rettangolari. Huwa possibbli anki li jużaw elettrokalamiti minflok kalamiti permanenti, li jistgħu joffru xi grad ta ' kontroll programmabbli tal-kamp manjetiku, imma, naturalment, iżidu kumplessità u l-ispiża.


Katodi tat-tbeżżiq huma normalment ilma mkessaħ, li ġeneralment jinvolvu a ram backing pjanċa li huwa direttament ilma mkessaħ, bil-mira jew depost jew marbut magħha. U f ' ħafna każijiet il-kalamiti huma lokati ġewwa l-ġakketta tal-ilma, f'kuntatt ma ' l-ilma, li aktarx ukoll kuntatti l-pjanċa arblu tali mħabbla.


F ' każijiet bħal dawn, għalhekk isir meħtieġ li jieħu l-passi xierqa biex jevitaw il-korrożjoni tal-kalamiti jew il-pjanċa ta ' l-arblu. Pjanċi ta ' l-arblu jistgħu jiġu fabbrikati mill liegi manjetiku ta ' l-azzar inossidabbli, per eżempju, sabiex jiġu evitati l-korrużjoni, u kalamiti li, jiddependi mill-komposizzjoni tagħhom, jistgħu b'xi mod ieħor jiġu effettwati mill-esposizzjoni għall-ilma jistgħu jiġu miksija bil-plastik jew epossi.


Pjana bil Magnetrons, u tagħhom ku ini mill-qrib l-clamp fuqu inset mira Magnetrons, jippermetti lill-utent biex jinkiseb l-ogħla rati ta ' deposizzjoni tat-tbeżżiq minn dajowd sempliċi konfigurazzjoni mħabbla. Dawn huma wkoll kapaċi li jsostnu plażma fi pressjonijiet ta ' gass aktar baxxi, li jistgħu jiftħu dak il-parametru għall-aġġustament tal-proċess addizzjonali biex tinkiseb il-proprjetajiet speċifiċi tal-film kif jistgħu ikunu mixtieqa.


Varjetà wiesgħa ta ' tali katodi u l-miri huma disponibbli kummerċjalment, inkluż l-għażliet varji għall-qawwa ta ' kalamita u t-tqassim biex itejjeb aspetti partikolari tal-proċess meta meħtieġa. Dawn saru a s-sostenn ewlieni ta ' l-ipproċessar Magnetron PVD Sputter.


Ta ' impjant modern, attrezzati tajjeb u siwi kbir għarfien dwar proċessi PVD kisja ta ' film irqiq, materjali u applikazzjonijiet,Haohai metalltiżviluppa PVD kisi soluzzjonijiet li l-klijenti tagħna joffru vantaġġi kompetittivi reali, aħna huma sħab affidabbli fil-manifattura ta ' kwalità għoljamiri sputteringu l-ark mħabbla.


Haohai metall (Haohai tat-titanju) tipprovdi firxa wiesgħa ta ' materjali tal-kisi fil-konfigurazzjoni tal-varjetà, bħall-miri sputtering idur, miri pjana bil sputtering, ark katodi, materjali ta ' l-evaporazzjoni u griġjoli fil-materjali ta ' l-tItaniumtaż-żirkonjukromjuħafnjudawk nijobjutantalutal-molibdenumtas-silikonaluminju tat-titanjunikil-kromjusilikon-aluminjuu l-kromju-aluminju eċċ.