Kategorija tal-prodott
Kuntatt magħna

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Indirizz:

Impjant Nru.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712,000, iċ-Ċina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Servizz hotline
029 3358 2330

Tat-teknoloġija

Id-dar > Tat-teknoloġijaIl-kontenut

AVVANZI FIL-KISI TA 'L-ISPUTTERING

1003.jpg


AVVANZI FIL-KISI TA 'L-ISPUTTERING


Magnetron sputtering huwa proċess ta 'kisi bil-vakwu għad-depożitu ta' films irqaq fuq il-ħġieġ. Mill-invenzjoni tagħhom fl-aħħar tas-sebgħinijiet, l-elettrodi tal-isparatura għaddew minn rivoluzzjoni tal-iżvilupp. L-avvanzi teknoloġiċi l-aktar sinifikanti huma d-dawran ta 'magnetrons ċilindriċi u miri avvanzati ta' tidwir ċilindriku li jdur. Dawn iż-żewġ żviluppi paralleli ppermettew lill-manifatturi biex isaħħu l-produzzjoni tal-kisi u jnaqqsu l-ispejjeż, filwaqt li jżommu l-kwalità tal-saff u l-konsistenza tal-ħxuna


Aħna nafu li magnetron spattering li jduru huwa l-proċess l-aktar ekonomiku u r-riżultati disponibbli llum minħabba avvanzi notevoli ta 'R & D fit-teknoloġija, il-proċess u l-inġinerija. In-nuqqasijiet ħafna ta 'tekniki planar ta' mannun ta 'mannun jistgħu jingħelbu bl-adozzjoni u l-implimentazzjoni ta' teknoloġija ċilindrika li ddur. Hemm tliet vantaġġi sinifikanti biex jiġi adottat il-metodu rotanti ta 'mannun ċilindriku ċilindriku, dawn jinkludu: inventarju ta' materjal superjuri, grad ogħla ta 'utilizzazzjoni u l-possibbiltà li tiġi ttrattata d-densità tal-qawwa, li tirriżulta f'rati mgħaġġla ħafna aktar mgħaġġla jew f'tagħmir aktar kumpless.


 1001.jpg


Miri spuntati li jistgħu jduru

Hekk kif l-interess tas-suq fil-kisi tal-vakwu b'metron sputtering jikber, il-manifattura fil-mira hija konsegwentement espansiva. L-isprej termali huwa t-teknoloġija ppreferuta għall-manifattura ta 'miri ta' tbattil, minħabba li toffri firxa wiesgħa ta 'kapaċitajiet biex tissodisfa dawn id-domandi tal-manifattura kumplessi ħafna. Tliet parametri għandhom impatt dirett fuq l-ispiża totali tal-proprjetà:

Kompożizzjoni ta 'materjal: Materjali dovuti jistgħu jiġu prodotti kemm f'kompożizzjonijiet stojkjometriċi kif ukoll mhux stoikometriċi mingħajr il-limiti tad-dijagrammi tal-fażijiet, li jippermettu lill-operaturi jiżviluppaw kisjiet speċifiċi li ma jistgħux isiru permezz ta' teknoloġiji klassiċi ta 'casting. Il-bexx termali m'għandux għalfejn jieħu kont tar-restrizzjonijiet possibbli tas-solubilità limitata bil-bexx termali: Kull taħlita ta 'żewġ materjali tista' tiġi pproċessata billi sempliċement it-taħlit tal-frazzjonjiet xierqa flimkien qabel il-bexx.

Kopertura estiża: Kważi l-materjali kollha jistgħu jiġu sprejjati, minn metalli b'punt baxx ta 'tidwib għal ċeramika ta' punt tat-tidwib.

Il-flessibilità fil-mira: Il-miri ta 'ħajja twila (forma ta' għadam tal-klieb) iżidu l-ħxuna tal-materjal fiż-żewġ trufijiet. Bħala riżultat, l-użu ta 'materjal immirat huwa possibbli bil-biċċa l-kbira tal-materjali u għal tulijiet immirati differenti (sa 152 pulzieri), u huma faċilment prodotti.

Il-kompożizzjoni tal-film: Films tipiċi rqiqa u stacks tal-kisi, bħal SnO2, TiO2, SiO2, u Si3N4, jistgħu jsiru permezz ta 'tubi mmejjel ċilindriċi avvanzati.

 

1002.jpg


Hawn huma xi miri ċilindriċi rotanti speċjali li jintużaw ħafna fl-industrija tal-kisi tal-films irqaq:

 

Miri tal-aluminju tas-silikon

Il-films rqaq ta 'SiO2 u Si3N4 huma sputtered minn miri Si (Al). Il-produzzjoni b'suċċess tal-miri Si (Al) permezz ta 'sprej termali tieħu vantaġġ mill-karatteristiċi ewlenin tal-proċess tal-isprej. Il-flessibilità inerenti tagħha għall-ġeometrija fil-mira tippermetti firxa wiesgħa ta 'dijametru fil-mira, tul, u truf ta' mira għad-dritt jew tal-għadam tal-klieb, filwaqt li timmassimizza l-kapaċità tal-bexx tal-mira billi żżid il-ħxuna tas-saff immirat sa 9 mm. Il-livelli ta 'dopanti ta' l-aluminju jistgħu jvarjaw minn 0% sa 19% bil-piż, b'kontrolli stretti fuq il-kompożizzjoni kimika finali. Billi tbiddel minn miri standard ta '6 mm oħxon għal miri ġodda ta' 9 mm (li fihom 50% aktar materjal), l-ispiża tal-kisi tista 'titnaqqas sa 3%, u l-ħin tax-xogħol jista' jiżdied b'5% minħabba inqas swaps fil-mira.

 

Landa ta 'densità għolja

Il-miri standard tal-landa sprejjati termalment għandhom 90% tad-densità teoretika meħtieġa, b'kontenut stmat ta 'ossiġenu ta' 2000 ppm. Madankollu, l-avvanzi fit-teknoloġija ta 'sprej termali wasslu għal mira ta' landa ġdida ta 'densità għolja, li laħqet aktar minn 98% tad-densità teoretika meħtieġa, flimkien ma' kontenut ta 'ossiġnu taħt 250 ppm. Dan l-avvanz jgħaqqad il-benefiċċji tat-teknoloġija termali ta 'sprej b'strutturi ta' densità għolja. Definiti f'termini ta 'rata ta' ark, imġiba ta 'ħruq, rata ta' depożizzjoni, u karatteristiċi ta 'kurrent / vultaġġ, l-imġiba tal-bexx tal-landa ta' densità għolja turi rendiment superjuri. Barra minn hekk, il-bexx termali avvanzat jippermetti rfinar preċiż tal-morfoloġija tal-qamħ, l-orjentazzjoni tal-qamħ, u d-densità tal-materjal. Dawn l-aġġustamenti flessibbli jottimizzaw il-prestazzjoni biex jipprovdu karatteristiċi ta 'sputter jew kisi speċifiċi, li jirriżultaw fi tfaddil sinifikanti fl-ispejjeż.

 

Ossidu tat-titanju

Eżempju perfett ta 'kif il-bexx termali jwassal għal prodott fil-mira b'valur miżjud huwa l-produzzjoni ta' miri TiOx. L-ewwel, it-temperaturi ta 'proċess għoli jippermettu li l-ossidu tat-titanju taċ-ċeramika jdub. Fl-istess ħin, l-ossidu tat-titanju jgħaddi minn tnaqqis parzjali bil-gassijiet tal-proċess, u jittrasformah f'fażi elettrikament konduttiva. F'rati għoljin ta 'tkessiħ, jibqa' konduttiv f'temperatura tal-kamra. Dan il-materjal isaħħaħ ħafna l-istabbiltà waqt il-proċessi reattivi, mingħajr ma jkun hemm bżonn ta 'sistema ta' kontroll tal-proċess ta 'loop tal-feedback, iżda xorta ttejjeb il-veloċità tad-depożizzjoni.

 

Indium Tin Oxide

L-ossidu tal-landa Indju huwa wieħed mill-ossidi konduttivi trasparenti li jwettqu l-aqwa disponibbli għas-suq tal-wiri. L-applikazzjonijiet jinkludu wiri ta 'pannelli ċatti, bħal LCD, PDP, u OLED, li fihom is-saff ta' l-ossidu ta 'l-indium iservi bħala trasparenti

elettrodu. Il-miri taċ-ċeramika tal-pjanar jikkonsistu f'muntaġġ wieħed jew aktar marbutin ma 'pjanċa ta' rinforz metalliku. Illum, id-depożizzjoni ta 'mannit ta' DC magnet reattiva minn mira taċ-ċeramika ċatta hija t-teknika l-aktar użata għall-depożizzjoni tal-kisi tal-indium-tinoxide (ITO) fuq is-sustrati tal-ħġieġ u tal-plastik. Minkejja l-popolarità tagħhom, il-miri ċatti għandhom diversi restrizzjonijiet intrinsiċi minħabba l-istruttura tal-pjanta tagħhom.


Il-miri ITO ċilindriċi li jduru jsolvu ħafna mill-limitazzjonijiet tal-miri pjanari ta 'ITO taċ-ċeramika. Uħud mill-vantaġġi inerenti tiegħu jinkludu:

Aktar inventarju ta 'mira utli u użu akbar ta' materjal immirat, li t-tnejn iwasslu għal waqfien imnaqqas tal-ħin tal-magna.

Żieda fl-istabbiltà tal-proċess għal depożizzjoni reattiva.

It-tkessiħ fil-mira mtejjeb, li jżid id-densità tal-qawwa u jgħolli r-rata tad-depożitu.

Testijiet preliminari fuq il-post urew li l-ispiża totali tas-sjieda tista 'titnaqqas b'aktar minn 40% kull metru kwadru filwaqt li tirdoppja l-utilizzazzjoni tal-miri.